原创标题: | ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发 | ||
论文摘要: | 摘要: 本文论述了ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发在当前一些问题,了解论文ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发背景,本文从论文角度/方向/领域进行关于ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的研究; 针对ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发问题/现象,从ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发方面,利用ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发方法进行研究。目的: 研究ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发目的、范围、重要性;方法: 采用ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发手段和方法;结果: 完成了ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发工作取得的数据和结果; 结论: 得出ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的重要结论及主要观点,论文的新见解。 [关键词]:ArF浸;ArF浸没式光刻;设计软件开发 |
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论文目录: | ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发目录(参考) 摘要(参考) Abstract 论文目录 第一章 引言/绪论…………………1 1.1 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发研究背景…………………2 1.2 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发研究意义…………………2 1.3 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发国内外研究现状…………………2 1.3.1 国外研究现状…………………2 1.3.2 国内研究现状…………………2 1.4 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发文献综述…………………2 1.4.1 国外研究现状…………………2 1.4.2 国内研究现状…………………2 1.5 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发研究的目的和内容…………………3 1.5.1 研究目的…………………3 1.5.2 研究内容…………………3 1.6 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发研究方法及技术路线…………………3 1.6.1 研究方法…………………3 1.6.2 研究技术路线…………………3 1.7 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发拟解决的关键问题…………………3 1.8 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发创新性/创新点…………………3 第二章 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的概述/概念…………………4 2.1 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的定义…………………4 2.2 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的作用…………………4 2.3 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的发展历程…………………5 第三章 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的构成要素…………………6 3.1 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的组成部分…………………6 3.2 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的功能模块…………………6 3.3 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的内容支持…………………7 第四章 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的问题及对应分析……………… 8 4.1 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发问题案例分析……………………………………… 9 4.2 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的数据分析………………………………9 4.3 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发研究策略 ………………………………………10 4.4 本章小结 ………………………………………………10 第五章 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的解决措施、评价与优化………………………10 5.1 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的解决措施 …… ………… 11 5.2 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的评价 ………………… 12 5.3 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的优化 …………………… 13 第六章 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发的经验总结与启示………………………15 6.1 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发经验总结…………………15 6.2 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发研究启示……………………16 6.3 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发未来发展趋势…………………… 16 6.4 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发本章小结…………………… 16 第七章 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发总结结论与建议………17 7.1 结论概括……………17 7.2 根据结论提出建议……………17 第八章 ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发结论与展望/结束语……………………………23 8.1 研究总结……………………………23 8.2 存在问题及改进方向……………………………23 8.3 未来发展趋势……………………………23 致谢 ………………………………………24 参考文献 ……………………………………… 25 论文注释 ………………………………………26 附录 …………………………………………27 | ||
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参考文献: | ArF浸没式光刻技术研究及光刻仿真辅助设计软件开发参考文献类型:专著[M],论文集[C],报纸文章[N],期刊文章[J],学位论文[D],报告[R],标准[S],专利[P],论文集中的析出文献[A] |
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原创编号: | 845613 | ||
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