晶圆清洗机无刷电机脉动转矩研究

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[序号]主要责任者.文献题名[文献类型标识].出版地：出版者，出版年.起止页码(可选) 参考文献参考案例：[1] 程丕勋. 机械电子工程探究分析[J]. 城市建设理论研究（电子版）,2015(17):7966-7966.
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