论文标题: | 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜 | ||
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论文摘要: | 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜摘要 摘要需要准确、简洁、清晰和完整地概括论文的主题、目的、方法、结果和结论,以便可以快速了解论文的核心内容。本文论述了快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜在当前一些问题,了解论文快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜背景,本文从论文角度/方向/领域进行关于快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的研究; 针对快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜问题/现象,从快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜方面,利用快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜方法进行研究。目的: 研究快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜目的、范围、重要性;方法: 采用快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜手段和方法;结果: 完成了快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜工作取得的数据和结果; 结论: 得出快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的重要结论及主要观点,论文的新见解。 [关键词]:快速热退;快速热退火制备超;纳米硅晶薄膜 |
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论文目录: | 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜目录(参考) 中文摘要(参考) 英文摘要Abstract 论文目录 第一章 引言/绪论…………………1 1.1 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜研究背景…………………2 1.2 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜研究意义…………………2 1.2.1 理论意义…………………2 1.2.2 实践意义…………………2 1.3 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜国内外研究现状…………………2 1.3.1 国外研究现状…………………2 1.3.2 国内研究现状…………………2 1.4 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜文献综述…………………2 1.4.1 国外研究现状…………………2 1.4.2 国内研究现状…………………2 1.5 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜研究的目的和内容…………………3 1.5.1 研究目的…………………3 1.5.2 研究内容…………………3 1.6 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜研究的方法及技术路线…………………3 1.6.1 研究方法…………………3 1.6.2 研究技术路线…………………3 1.7 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜拟解决的关键问题…………………3 1.8 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜创新性/创新点…………………3 1.9 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜本章小结…………………3 第二章 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜基本概念和理论…………………4 2.1 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的定义和性质…………………4 2.2 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的分类和体系…………………4 2.3 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的研究方法…………………5 2.4 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的基本理论…………………5 第三章 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的构成要素/关键技术…………………6 3.1 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的组成部分…………………6 3.2 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的功能模块…………………6 3.3 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的内容支持…………………7 第四章 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的案例分析/应用领域……………… 8 4.1 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜问案例分析……………………………………… 9 4.2 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的数据分析………………………………9 4.3 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜研究策略 ………………………………………10 4.4 本章小结 ………………………………………………10 第五章 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的设计、评价与优化………………………10 5.1 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的解决措施 …… ………… 11 5.2 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的评价 ………………… 12 5.3 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的优化 …………………… 13 5.4 本章小结 ………… ………… 13 第六章 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜的经验总结与启示………………………15 6.1 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜经验总结…………………15 6.2 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜研究启示……………………16 6.3 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜未来发展趋势…………………… 16 6.4 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜本章小结…………………… 16 第七章 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜总结结论与建议………17 7.1 结论概括……………17 7.2 根据结论提出建议……………17 7.3 本章小结……………17 第八章 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜结论与展望/结束语……………………………23 8.1 研究成果总结……………………………23 8.2 存在问题及改进方向……………………………23 8.3 未来发展趋势……………………………23 致谢 ………………………………………24 参考文献 ……………………………………… 25 论文注释 ………………………………………26 附录 …………………………………………27 |
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参考文献: | 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜参考文献类型:专著[M],论文集[C],报纸文章[N],期刊文章[J],学位论文[D],报告[R],标准[S],专利[P],论文集中的析出文献[A] |
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论文致谢: | 六月的校园总是让人无法宁静,收获的喜悦、离别的伤感、远行前的驻足与徘徊、叹时光之流逝、思人生之深浅。转眼间三年的研究生生活即将结束,不仅仅是时光的流逝,回首,自己成长了很多。有我的拼搏努力,更离不开身边老师、同学、朋友的支持与帮助。 |
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文献综述结构: | 快速热退火制备超薄纳米硅晶薄膜文献综述参考 |
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开题报告: | 一般包括以下部分: |
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开题报告模板: | |||
论文附录: | 对写作主题的补充,并不是必要的。 |
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论文说明: | 此论文没有对外公开任何信息,可联系我们获得相关摘要和目录 | ||
论文编号: | 1278578 | ||
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